針對這種不一樣種類的干式真空泵，大家都期盼可以將其物理學規格減少。但這與真空泵的抽真空速度相分歧，由于真空泵的抽真空速度與真空泵的容量正相關，物理學規格小代表著容量也小。下面小編給大家分享關于干式真空泵的五種方式以及使用特點的內容，歡迎閱讀！

干式真空泵的五種方式：

　　一、雙圓碎片式

　　雙圓碎片式的多級別設計方案促使汽體通道非常繁雜，而且每一級都必須很大總流量的N2具有稀釋液和隔離作用。另外，為了更好地做到好的真空值，對各個的空隙有十分嚴苛的規定。自然，這類設計方案因為提升了內部的發動機壓縮比而促使其用電量相對性較低。

　　二、三葉圓碎片式

　　三葉圓碎片式設計方案和所述方式設計方案的基本原理同樣，僅僅在轉動一圈里將汽體分成三份而不是像雙圓碎片式分成二份。為了更好地進一步減少用電量，在傳動系統一部分有的生產廠家采用2個直流馬達，但這也會造成 扭距減少，重啟的工作能力—降低。

　　三、整體式（羅次 爪）

　　整體式（羅次 爪）設計方案用羅次來提升 在較低工作壓力下的抽真空高效率，用爪來提升 在較高工作壓力下的抽真空高效率。它的基本概念和汽體通道同前邊詳細介紹的圓碎片式設計方案同樣。也一些生產廠家將其終一級改成星形設計方案，那樣能夠在轉動一圈里將汽體分成五份，如同三圓碎片式設計方案能夠將其分成三份。

　　四、外界縮小型螺桿式壓縮機

　　在外界縮小型螺桿式壓縮機設計方案中，應用一對定距擠出機螺桿。這促使內部縮小減少，另外促使汽體通道簡易。那樣，汽體在泵身體滯留的時間也短。這類設計方案但在繁雜的半導體材料加工工藝中主要表現出的可靠性十分強。

　　五、內部縮小型螺桿式壓縮機

　　擠出機螺桿間容量的持續減少促使其內部造成縮小。在許多加工工藝中，這類內部縮小同多級離心泵一樣，非常容易導致汽體在泵身體的物理學轉變而造成干固或汽化。

干式真空泵的使用特點：

　　(1)在較寬的壓力范圍內有較大的抽速；

　　(2)轉子具有良好的幾何對稱性，故振動小，運轉平穩。轉子間及轉子和殼體間均有間隙，不用潤滑，摩擦損失小，可大大降低驅動功率，從而可實現較高轉速；

　　(3)泵腔內無需用油密封和潤滑，可減少油蒸氣對真空系統的污染；

　　(4)泵腔內無壓縮，無排氣閥。結構簡單、緊湊，對被抽氣體中的灰塵和水蒸汽不敏感；

　　(5)壓縮比較低，對氫氣抽氣效果差；

　　(6)轉子表面為形狀較為復雜的曲線柱面，加工和檢查比較困難。

　　以上就是今天的所有內容，相信大家對干式真空泵的五種方式以及使用特點也有了一定的認識。非常感謝您的耐心閱讀。如還想了解關于干式真空泵維修的相關問題，您可以撥打右上角的服務熱線，與我們咨詢。